1、電子光學(xué)部分
整個(gè)電子光學(xué)部分*置于鏡筒之內，自上而下順序排列著(zhù)電子槍、聚光鏡、樣品室、物鏡、中間鏡、投影鏡、觀(guān)察室、熒光屏、照相機構等裝置。根據這些裝置的功能不同又可將電子光學(xué)部分分為照明系統、樣品室、成像系統及圖像觀(guān)察和記錄系統。
(1)照明系統
照明系統由電子槍、聚光鏡和相應的平移對中及傾斜調節裝置組成。它的作用是為成像系統提供一束亮度高、相干性好的照明光源。為滿(mǎn)足暗場(chǎng)成像的需要照明電子束可在2-3度范圍內傾斜。
①電子槍
它由陰極、柵極和陽(yáng)極構成。在真空中通電加熱后使從陰極發(fā)射的電子獲得較高的動(dòng)能形成定向高速電子流。
②聚光鏡
聚光鏡的作用是會(huì )聚從電子槍發(fā)射出來(lái)的電子束，控制照明孔徑角、電流密度和光斑尺寸。
(2)樣品室
樣品室中有樣品桿、樣品杯及樣品臺。
(3)成像系統
成像系統一般由物鏡、中間鏡和投影鏡組成。物鏡的分辨本領(lǐng)決定了電鏡的分辨本領(lǐng)，中間鏡和投影鏡的作用是將來(lái)自物鏡的圖像進(jìn)一步放大。
(4)圖像觀(guān)察與記錄系統
該系統由熒光屏、照相機、數據顯示等組成。
2、真空系統
真空系統由機械泵、油擴散泵、換向閥門(mén)、真空測量?jì)x奉及真空管道組成。它的作用是排除鏡筒內氣體，使鏡筒真空度至少要在托以上。如果真空度低的話(huà)，電子與氣體分子之間的碰撞引起散射而影響襯度，還會(huì )使電子柵極與陽(yáng)極間高壓電離導致極間放電，殘余的氣體還會(huì )腐蝕燈絲，污染樣品。
3、供電控制系統
加速電壓和透鏡磁電流不穩定將會(huì )產(chǎn)生嚴重的色差及降低電鏡的分辨本領(lǐng)，所以加速電壓和透鏡電流的穩定度是衡量電鏡性能好壞的一個(gè)重要標準。
透射電鏡的電路主要由高壓直流電源、透鏡勵磁電源、偏轉器線(xiàn)圈電源、電子槍燈絲加熱電源，以及真空系統控制電路、真空泵電源、照相驅動(dòng)裝置及自動(dòng)曝光電路等部分組成。另外，許多高性能的電鏡上還裝備有掃描附件、能譜議、電子能量損失譜等儀器。
