賽默飛掃描電鏡由電子槍發(fā)射出來(lái)的電子束，在加速電壓的作用下，經(jīng)過(guò)磁透鏡系統匯聚，經(jīng)過(guò)二至三個(gè)電磁透鏡所組成的電子光學(xué)系統，電子束會(huì )聚成一個(gè)細的電子束聚焦在樣品表面。在末級透鏡上邊裝有掃描線(xiàn)圈，在它的作用下使電子束在樣品表面掃描。
賽默飛掃描電鏡由于高能電子束與樣品物質(zhì)的交互作用，結果產(chǎn)生了各種信息：二次電子、背反射電子、吸收電子、X射線(xiàn)、俄歇電子、陰極發(fā)光和透射電子等。這些信號被相應的接收器接收，經(jīng)放大后送到顯像管的柵極上，調制顯像管的亮度。由于經(jīng)過(guò)掃描線(xiàn)圈上的電流是與顯像管相應的亮度一一對應，也就是說(shuō)，電子束打到樣品上一點(diǎn)時(shí)，在顯像管熒光屏上就出現一個(gè)亮點(diǎn)。
二次電子像：在入射電子束作用下被轟擊出來(lái)并離開(kāi)樣品表面的核外電子叫做二次電子。這是一種真空中的自由電子。它對樣品的表面形貌十分敏感，因此，能非常有效地顯示樣品的表面形貌。
背散射電子像：背散射電子是被固體樣品中的原子核反彈回來(lái)的一部分入射電子，背散射電子來(lái)自樣品表層幾百納米的深度范圍。由于它的產(chǎn)能隨樣品原子序數增大而增多，所以不僅能用作形貌分析，而且可以用來(lái)顯示原子序數襯度，定性地用作成分分析。
賽默飛掃描電鏡就是這樣采用逐點(diǎn)成像的方法，把樣品表面不同的特征，按順序，成比例地轉換為視頻信號，完成一幀圖像，從而使我們在熒光屏上觀(guān)察到樣品表面的各種特征圖像。
