掃描電子顯微鏡(SEM) 是一種介于透射電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種觀(guān)察手段?？芍苯永脴悠繁砻娌牧系奈镔|(zhì)性能進(jìn)行微觀(guān)成像。
掃描電鏡從原理上講就是利用聚焦得非常細的高能電子束在試樣_上掃描，激發(fā)出各種物理信息。通過(guò)對這些信息的接受、放大和顯示成像，獲得測試試樣表面形貌的觀(guān)察。
掃描電鏡主要可以分為三個(gè)部分:
a.電子光學(xué)系統
作用:是用來(lái)獲得很細的電子束(直徑約幾個(gè)nm)，作為產(chǎn)生物理信號的激發(fā)源。
b.信號收集處理，圖像顯示和記錄系統
作用:收集(探測)樣品在入射電子束作用下產(chǎn)生的各種物理信號，并進(jìn)行放大；將信號檢測放大系統輸出的調制信號轉換為能顯示在陰極射線(xiàn)管熒光屏上的圖像，供觀(guān)察或記錄。
c.真空系統
作用:保證電子光學(xué)系統正常工作，防止樣品污染，避免燈絲壽命快速下降。
需要提供高的真空度，一般情況下要求保持10-4~10-5mmHg的真空度。
