FIB雙束掃描電鏡具有高性能成像和分析性能。它經(jīng)過(guò)精心設計，以滿(mǎn)足材料科學(xué)研究人員和工程師使用FIB-SEM的需求。它重新定義了高分辨率成像的標準，引入了一種新的精細圖像調節功能FLASH(閃爍)技術(shù)。
FIB雙束掃描電鏡只需在用戶(hù)界面中操作鼠標即可“實(shí)時(shí)”執行散光、鏡頭對中和圖像對焦。自動(dòng)調整可以顯著(zhù)提高通量、數據質(zhì)量并簡(jiǎn)化高質(zhì)量圖像的獲取。所有人員操作都非常方便，只有經(jīng)過(guò)短期培訓才能使用。
FIB雙束掃描電鏡的工作原理：
雙束聚焦離子束系統可以簡(jiǎn)單地理解為單束聚焦離子光束系統和普通掃描電鏡的耦合。常見(jiàn)的雙束設備是電子束的垂直安裝。離子束和電子束以一定角度安裝。電子束和離子束焦平面的交點(diǎn)通常稱(chēng)為同心高度位置。當樣品在使用過(guò)程中處于同心高度的位置時(shí)，可以同時(shí)實(shí)現電子束成像和離子束處理，通過(guò)樣品臺的傾斜可以使樣品表面垂直于電子束或離子束。
雙束系統還可以配備不同的輔助設備以實(shí)現特定目的，例如特定的氣體注入系統(GIS)，它可以通過(guò)化學(xué)氣體反應與物理濺射相結合，選擇性地去除某些材料或沉積材料(導電或絕緣)；能譜或電子背散射衍射系統可以表征和分析材料成分、結構、取向等；納米機械手可以在微米和納米尺度上控制研究對象；各種可控樣品臺架，如溫度控制、通電、加力等，可實(shí)現多場(chǎng)耦合條件下的現場(chǎng)分析和測試。
