鎢燈絲掃描電鏡的燈絲壽命相對較短，一般只有幾十個(gè)小時(shí)。燈絲壽命直接影響掃描電鏡運行成本、有效運行時(shí)間、儀器性能等。因此日常維護保養要格外注意燈絲的保養。
1.保持鏡筒的高真空度
隨時(shí)注意鏡筒是否存在微小泄露，同時(shí)保證各級泵的性能，必要時(shí)要更換泵油。再有就是待觀(guān)察樣品應盡量干燥、無(wú)揮發(fā)性物質(zhì)。
2.適當增加燈絲高度
燈絲工作時(shí)發(fā)射電子束，燈絲的發(fā)射束流與燈絲的加熱電流和燈絲高度有關(guān)，燈絲高度越大，則燈絲達飽和點(diǎn)的工作溫度就越低，燈絲表面蒸發(fā)得也越慢。因此在保證理論高度的條件下，我們可以將燈絲高度適當增加。新型掃描電鏡一般配有幾個(gè)可選燈絲墊片，其型號不一樣，厚薄也不一樣。在滿(mǎn)足觀(guān)察要求的情況下，我們可以選擇厚一點(diǎn)的墊片以增加燈絲高度，減少燈絲飽和電流。
3.及時(shí)手動(dòng)調整燈絲電流
在掃描電鏡使用過(guò)程中，應經(jīng)常觀(guān)察燈絲的飽和程度，當發(fā)現燈絲電流不在飽和狀態(tài)時(shí)，適當手動(dòng)調整燈絲電流，使燈絲處于飽和狀態(tài)。另外新型掃描電鏡電子槍的調整一般分全自動(dòng)調整和半自動(dòng)調整，我們一般應選擇半自動(dòng)調整。否則，當自動(dòng)調整電子槍時(shí)，燈絲電流也將一起調整且長(cháng)時(shí)間處于過(guò)大電流，極大地消耗燈絲，嚴重影響燈絲壽命。
4.準確對中燈絲
安裝、更換新燈絲時(shí)仍需檢查燈絲的對中情況，最好將安裝好的燈絲組件放在解剖鏡下再檢查一下，看燈絲是否居中，否則很容易導致燈絲亮度偏暗，而由此操作者又會(huì )增加偏壓或電流來(lái)提高亮度，損傷燈絲。
