雙束掃描電鏡（FIB-SEM）的工作原理是將聚焦離子束（Focused Ion Beam, FIB）和掃描電子顯微鏡（Scanning Electron Microscope, SEM）結合在一起，是一種集微區成像、加工、分析、操縱于一體的功能強大的綜合型分析與表征設備，具有成像和加工兩個(gè)系統。這種設備可以在SEM實(shí)時(shí)觀(guān)測下，使用FIB對樣品進(jìn)行微米至納米級別的精確加工。
雙束掃描電鏡在科研、工業(yè)等領(lǐng)域有廣泛的應用：
1、生命科學(xué)研究：利用雙束掃描電鏡對動(dòng)植物細胞、組織、微生物等進(jìn)行超微結構觀(guān)察，研究細胞內部結構的變化和功能機制。
2、材料科學(xué)：用于研究各種材料的微觀(guān)結構和性能，如金屬、陶瓷、復合材料等。通過(guò)離子束刻蝕和沉積技術(shù)，可以在材料表面進(jìn)行微納級別的加工和制備。
3、集成電路制造：在集成電路和芯片設計制造中，利用雙束掃描電鏡進(jìn)行高分辨實(shí)時(shí)觀(guān)察和微納尺度圖形的精細加工，實(shí)現電路修補、材料微納復雜圖形的加工和制備等。
4、環(huán)境監測：用于分析土壤、水體等環(huán)境樣品中的微小顆粒、污染物等物質(zhì)的分布和形態(tài)。
5、地質(zhì)學(xué)：用于研究巖石、礦物、古生物等地質(zhì)樣品的微觀(guān)結構和形成過(guò)程。
6、醫學(xué)領(lǐng)域：雙束掃描電鏡可以用于觀(guān)察細胞和組織的細微結構，輔助疾病的診斷和治療。
