SEM掃描電鏡是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀(guān)性貌觀(guān)察手段，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀(guān)成像。該設備是利用電子束掃描樣品表面，產(chǎn)生二次電子等信號，通過(guò)檢測這些信號來(lái)獲取樣品表面形貌、成分等信息。
SEM掃描電鏡的分辨率可以達到納米級別，甚至在一些先進(jìn)的設備中可以達到亞納米級別，能夠清晰地觀(guān)察到樣品表面的細微結構和形貌特征。具有良好的景深，可以展示樣品的立體結構，便于理解樣品的形貌。
SEM掃描電鏡憑借其高分辨率和多功能性，在眾多領(lǐng)域中得到了廣泛應用：
1、材料科學(xué)：用于研究材料的微觀(guān)結構、成分和缺陷，如觀(guān)察金屬材料的晶粒、相界面和微觀(guān)裂紋等，有助于優(yōu)化材料性能和開(kāi)發(fā)新材料。
2、納米技術(shù)：用于分析和表征納米材料，如觀(guān)察納米顆粒、納米線(xiàn)、納米管等納米結構的形態(tài)和尺寸，幫助研究人員理解納米材料的特性和行為。
3、生物醫學(xué)：用于觀(guān)察細胞、組織和微生物等生物樣品的超微結構。
4、半導體行業(yè)：在半導體制造過(guò)程中，用于檢測芯片表面的缺陷、測量線(xiàn)寬和層厚，確保生產(chǎn)工藝的精確控制。
5、地質(zhì)學(xué)：用于研究礦物的微觀(guān)結構和成分，如觀(guān)察礦物的晶體形態(tài)、裂隙和包裹體等，幫助地質(zhì)學(xué)家了解礦床的成因和演化過(guò)程。
