賽默飛掃描電鏡是一種新型的電子光學(xué)儀器，被廣泛地應用于化學(xué)、生物、醫學(xué)、冶金、材料、半導體制造、微電路檢查等各個(gè)研究領(lǐng)域和工業(yè)部門(mén)。制樣簡(jiǎn)單、放大倍數可調范圍寬、圖像的分辨率高、景深大、保真度高、有真實(shí)的三維效應等，對于導電材料，可直接放入樣品室進(jìn)行分析，對于導電性差或絕緣的樣品則需要噴鍍導電層。
賽默飛掃描電鏡的結構組成：
1、電子光學(xué)系統
電子光學(xué)系統包括電子槍、電磁透鏡、掃描線(xiàn)圈、樣品室等，主要用于產(chǎn)生一束能量分布極窄的、電子能量確定的電子束用以?huà)呙璩上蟆?br />
2、信號探測處理和顯示系統
電子經(jīng)過(guò)一系列電磁透鏡成束后，打到樣品上與樣品相互作用，會(huì )產(chǎn)生二次電子、背散射電子、俄歇電子以及X射線(xiàn)等一系列信號。所以需要不同的探測器譬如二次電子探測器、X射線(xiàn)能譜分析儀等來(lái)區分這些信號以獲得所需要的信息。雖然X射線(xiàn)信號不能用于成象，但習慣上，仍然將X射線(xiàn)分析系統劃分到成象系統中。
3、真空系統
真空柱是一個(gè)密封的柱形容器。真空泵用來(lái)在真空柱內產(chǎn)生真空。有機械泵、油擴散泵以及渦輪分子泵三大類(lèi)，機械泵加油擴散泵的組合可以滿(mǎn)足配置鎢燈絲槍的掃描電鏡的真空要求，但對于裝置了場(chǎng)致發(fā)射槍或六硼化鑭及六硼化鈰槍的掃描電鏡,則需要機械泵加渦輪分子泵的組合。成象系統和電子束系統均內置在真空柱中。真空柱底端即為右圖所示的樣品室，用于放置樣品。
