環(huán)境真空掃描電鏡是指掃描電子顯微鏡的一個(gè)重要分支，環(huán)境掃描電子顯微鏡除了像普通掃描電鏡的樣品室和鏡筒內設為高真空，檢驗導電導熱或經(jīng)導電處理的干燥固體樣品以外，還可以作為低真空掃描電鏡直接檢測非導電導熱樣品，無(wú)需進(jìn)行處理，但是低真空狀態(tài)下只能獲得背散射電子像。
環(huán)境掃描電鏡既可以在高真空狀態(tài)下工作，又可以在低直空狀態(tài)下工作。在利用高真空功能的時(shí)候，對于非導電材料和濕潤試樣，要經(jīng)過(guò)固定、脫水，干燥，鍍膜等系列處理后方可觀(guān)察。利用低真空功能，樣品可以省略預處理環(huán)節，直接觀(guān)察試樣，不存在化學(xué)固定所產(chǎn)生的各種問(wèn)題，甚至可以觀(guān)察活體生物樣品。
環(huán)境真空掃描電鏡的工作原理：
采用多級真空系統、氣體二次電子信號探測器等設計。觀(guān)察不導電樣品不需要鍍導電膜，可以在控制溫度、壓力、相對濕度和低真空度的條件下進(jìn)行觀(guān)察分析含水的、含油的、已污染的、不導電的樣品，減少了樣品的干燥損傷和真空損傷。
在高真空的常規掃描電鏡中，用標準的EverhartThornley探測器來(lái)接受被高能入射電子激發(fā)的樣品的信號電流，經(jīng)放大后形成圖像。
環(huán)境真空掃描電鏡的用途：
1、樣品不需噴C或Au，可在自然狀態(tài)下觀(guān)察圖像和元素分析。
2、可分析生物、非導電樣品(背散射和二次電子像)。
3、可分析液體樣品。
4、±20℃內的固液相變過(guò)程觀(guān)察。
5、分析結果可拍照、視頻打印和直接存盤(pán)(全數字化)。
