高性能場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡具有超高分辨率，具有高性能X射線(xiàn)能譜儀，能同時(shí)進(jìn)行樣品表層的微區點(diǎn)線(xiàn)面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化學(xué)組分綜合分析能力，能做各種固態(tài)樣品表面形貌的二次電子象、反射電子象觀(guān)察及圖像處理。
高性能場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的日常維護與保養：
1、保持儀器操作平臺干凈整潔，不要靠在上面，不要將重物放在冰水器和其他設備上。
2、啟動(dòng)機器時(shí)，必須先打開(kāi)水冷系統，并檢查冷卻水的溫度。關(guān)閉機器至少15分鐘后，可以關(guān)閉冷卻水。
3、進(jìn)樣時(shí)，檢查Z軸和T軸的位置。緩慢關(guān)閉樣品室，確保樣品室門(mén)*關(guān)閉，然后單擊EVAC按鈕抽氣。
4、移動(dòng)樣品。將階段驅動(dòng)器移動(dòng)到X和Y軸以移動(dòng)樣本，并確保其小于最大允許值。
5、將樣品傾斜-10°~+45°，小心不要損壞探針。傾斜角度應根據樣品臺和樣品條件選擇。注意，樣品可以?xún)A斜的最大安全角度必須小于允許值，以防止樣品撞擊物鏡極靴。
6、使用BSE探頭時(shí)，不要傾斜樣本臺。
7、只有在關(guān)閉加速電壓的情況下才能取出樣品，不進(jìn)行樣品掃描時(shí)應關(guān)閉高壓。
8、排氣時(shí)必須關(guān)閉HT，120秒后必須輕輕打開(kāi)樣品交換室的門(mén)。
9、更換鎢絲時(shí)，等待兩分鐘，然后打開(kāi)電子槍?zhuān)脤?zhuān)用工具取出鎢絲和鎢絲罩，以免燙傷。
10、電子顯微鏡需要手動(dòng)調節的部件主要包括光圈、像散和調節工作距離的旋鈕。
11、每周添加兩到三次液氮，間隔不超過(guò)四天。
