SEM掃描電子顯微鏡是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀(guān)形貌觀(guān)察手段，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀(guān)成像。它由電子光學(xué)系統、信號收集及顯示系統、真空系統和電源系統組成，應用于生物、醫學(xué)、材料和化學(xué)等領(lǐng)域。
SEM掃描電子顯微鏡的結構組成：
1、電子光學(xué)系統
組成：電子槍、電磁透鏡、掃描線(xiàn)圈和樣品室等部件。
作用：獲得掃描電子束、作為產(chǎn)生物理信號的激發(fā)源。
2、信號收集和顯示系統
信號收集：二次電子和背散射電子收集器、吸收電子顯示器、X射線(xiàn)檢測器(波譜儀和能譜儀)
顯示系統：顯示屏有兩個(gè)，一個(gè)用于觀(guān)察，一個(gè)用于記錄照相。
3、真空系統
組成：機械泵、擴散泵
作用：保證電子光學(xué)系統正常工作，提供高真空度，防止樣品污染，保持燈絲壽命，防止極間放電。
4、電源系統
包括啟動(dòng)的各種電源，檢測-放大系統電源，光電倍增管電源，真空系統和成像系統電源燈。還有穩壓、穩流及相應的安全保護電路。
SEM掃描電子顯微鏡從原理上講就是利用聚焦得非常細的高能電子束在試樣上掃描，激發(fā)出各種物理信息。通過(guò)對這些信息的接受、放大和顯示成像，獲得測試試樣表面形貌的觀(guān)察。它的制造依據是電子與物質(zhì)的相互作用。
