FIB雙束掃描電鏡是通過(guò)聚焦離子束(FIB)與掃描電子顯微鏡(SEM)耦合成為FIB-SEM雙束系統后，通過(guò)結合相應的氣體沉積裝置，納米操縱儀，各種探測器及可控的樣品臺等附件成為一個(gè)集微區成像、加工、分析、操縱于一體的分析儀器。
FIB雙束掃描電鏡的工作流程如下：
1、執行激光加工的設置步驟
(1)將樣品裝載到樣品夾上并傳送到雙束電鏡主艙室。
(2)導入、覆蓋和對齊蔡司關(guān)聯(lián)工作區的三維X射線(xiàn)數據或二維光學(xué)顯微鏡圖像等。
(3)找到您的感興趣區域，獲取參考圖像。
2、對齊掃描電鏡和激光坐標
(1)使用SEM掃描四個(gè)樣品架基準點(diǎn)以鎖定樣品和SEM坐標。
(2)將樣品運送到集成飛秒(fs)激光室。
(3)使用飛秒激光掃描四個(gè)樣品架基準點(diǎn)以鎖定樣品和激光坐標。
(4)SEM和激光坐標現已對齊。
3、加工大量材料
(1)繪制您的激光圖案。
(2)曝光您的激光圖案。
(3)以?xún)?yōu)于2μm的目標精度快速去除大量材料。
4、將樣品傳送到雙束電鏡主艙室，讓您的雙束電鏡繼續工作
(1)已經(jīng)能夠觀(guān)察到微結構細節。
(2)根據高分辨率成像的需要執行FIB拋光。
(3)使用新穎的工作流程創(chuàng )建TEM和原子探針樣品。
(4)通過(guò)即時(shí)SEM反饋，快速優(yōu)化激光方案。
