鎢燈絲掃描電鏡通過(guò)對電子槍內的鎢燈絲加高電壓，使電子槍處于熱激發(fā)狀態(tài)，在陽(yáng)極作用下，處于熱激發(fā)的電子槍就可以激發(fā)出電子束。經(jīng)過(guò)掃描線(xiàn)圈磁場(chǎng)的控制，電子束在樣品表面逐點(diǎn)掃描，激發(fā)出二次電子、背散射電子等物理信號，經(jīng)探測器收集、放大器放大后，調制得圖像。
鎢燈絲掃描電鏡總發(fā)射電流和束斑都較大，抗干擾能力和穩定性都較好，低真空下可以對不導電樣品無(wú)荷電成像，可用于形貌觀(guān)察、顯微結構分析、斷口形貌分析，在材料、地質(zhì)、礦產(chǎn)、冶金、機械、化學(xué)、化工、物理、電子、生物、醫學(xué)等領(lǐng)域都有廣泛的用途。
鎢燈絲掃描電鏡的其他一些有益措施：
1.新燈絲的表面可能吸附一定量的空氣、水汽，當它被安裝到電鏡鏡筒里時(shí)，會(huì )從燈絲表面緩緩釋放，影響鏡筒的真空度，腐蝕燈絲。因此，新燈絲在更換前要先經(jīng)過(guò)“去潮、去氣”處理，可在電熱箱內放置數小時(shí)，然后放入透射電鏡底片抽氣室預抽氣數小時(shí)以除去新燈絲上吸附的殘余空氣和水汽。
2.干燥好的樣品若暫時(shí)不用，可放在干燥器或真空中保存，樣品粘臺后最好放入透射電鏡底片抽氣室預抽氣數小時(shí)再放入電鏡觀(guān)察。
3.飽和點(diǎn)調低一點(diǎn)，滿(mǎn)足要求即可。掃描電鏡鎢燈絲有兩個(gè)飽和點(diǎn)：第2飽和點(diǎn)用于高分辨率觀(guān)察照相，如果對圖像要求不高或做，可以在第一飽和點(diǎn)工作，這樣可以延長(cháng)燈絲的壽命。
4.高真空抽到后等幾分鐘，讓真空度更高。換樣品放氣前等幾分鐘，讓燈絲冷卻下來(lái)再放氣，避免過(guò)熱燈絲與大氣接觸氧化燈絲。
5.加速電壓不宜用得過(guò)高，滿(mǎn)足要求即可，能用低電壓就不用高電壓。放大倍數不超過(guò)一萬(wàn)倍時(shí)一般15-20Kv就可以了。同時(shí)，應保持工作電壓與工作距離的相對穩定，如無(wú)特殊需要，不要經(jīng)常更換電壓與工作距離。因為頻繁更改電鏡工作參數不利于電鏡穩定工作。
6.平時(shí)盡量少頻繁開(kāi)關(guān)燈絲，次數過(guò)多對燈絲不利。通過(guò)以上措施，不僅可以大大減少維護費用，同時(shí)很好的保證了電子顯微鏡的高效、穩定運行。
